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硅片研磨清洗机,酸洗清洗机

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概述:主要由两只石英加热缸,两套温度控制系统(石英缸数量可根据客户要求而定),两只快速喷淋排水槽(QDR),两套喷淋控制系统,一只槽,一只一阶溢流槽,一只三阶溢流槽,两套吸酸排放器等构成。
技术特点


可清洗片子尺寸:Φ300mm。 
槽体数量可根据用户工艺要求配置。 
清洗槽加热温度可高达200℃。 
快速排放冲洗槽排放,冲洗次数可设置。

槽体结构可选单片盒,或双片盒结构。 
槽内传输有手动、自动方式可选。 

可选配液体循环系统。 

 具有故障提示,报警等功能。
主要技术指标

□ 去离子水压力:0.25~0.3Mpa 
□ 排水口:Φ60mm 
□ 酸液排放口:1/2PFA 
□ 氮气压力:0.25~0.3MPa 
□ 氮气接口管径:3/8PE 
□ 压缩空气压力:0.25~0.3 Mpa 
□ 压缩空气接口:3/8PE 
□ 电源:AC380V±AC38V (三相五线



山东联超电子设备有限公司(LCUT)是一家专业从事精密超声波清洗机、半导体设备、制药设备、无损检测设备及非标设备的研发、制造、营销及服务于一体的企业,拥有二十多年的超声波设备的生产经验,产品采用先进工艺及高质量部件制作,品质好。公司产品涉及的行业有五金、光学、半导体、石英晶体、LED、电子、汽车、机械、制药、化工航空、医疗器械等,在国内享有很高的声誉。

    “联超”牌超声波发生器独有的超声波换能器和大功率模块电源技术在行业内有很高的知名度,在国内占有很高的市场份额,并出口到东南亚、意大利、德国等地。

    产品主要有:单槽超声波清洗机、多槽超声波清洗机、全自动超声波清洗机、酸洗机、腐蚀清洗机、硅片清洗机、甩干机、药厂用超声波清洗机、检测仪器等。

    本公司坚持“科技、创新、诚信、共赢”为宗旨,严格按照ISO9001国际质量体系的要求组织产品的生产和销售。以全新的经营理念、充夯盍Φ母咚刂实脑惫ぃ竭诚为各方宾朋服务。







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